瑞昌核物理应用研究院提供真空检漏服务

1.瑞昌核物理应用研究院真空检漏服务设备简介

瑞昌核物理应用研究院拥有四大核技术应用平台，并积极对外提供核技术相关服务。如100KV、400KV等加速管设计定制及生产、真空检漏服务。

瑞昌核物理应用研究院拥有一台中科科仪集团的ZQJ-2000型氦质谱检漏仪，具有仪器灵敏度高，响应时间快，检漏压强高等性能优势。

2.检漏设备图片

3.检漏仪性能指标

4.真空检漏的必要性

一些生产中的真空设备（真空镀膜机、液晶注入机、PVD、半导体延长等等）需要在真空环境下进行，要求空气不得漏进工作腔体中，否则生产不能进行，或产生次品，浪费人力物力；另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶、空调冰箱中的雪种容器等）要求在容器外存在压强的情况下，不能有气体或液体漏出，否则可能会导致有毒物资、腐蚀性气体泄漏，甚至酿成事故。真空系统、容器或器件的器壁因材料本身缺陷或焊缝、机械连接处可能存在孔洞、裂纹或间隙等缺陷，若外部大气通过这些缺陷进入系统内部，致使系统、容器或器件达不到预期的真空度。

5.氦质谱检漏技术

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器，其质谱原理如图所示。相较于其他真空检漏技术，氦质谱检漏仪的检漏效率高，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰。

6.真空检漏的应用

7.联系方式

电话：0792-3603186